Характеристики диффузионных кремниевых датчиков давления

По сравнению с датчиками других принципов, диффузионные кремниевые датчики давления имеют следующие характеристики:

1. Подходит для изготовления датчиков малого радиуса действия. Пьезорезистивный эффект чувствительного к силе резистора кремниевого чипа не имеет мертвой зоны в нижнем диапазоне около нуля, а диапазон датчика давления может составлять всего несколько кПа.

2. Высокая выходная чувствительность. Коэффициент чувствительности кремниевого тензорезистора в 50-100 раз выше, чем у металлического тензорезистора, поэтому чувствительность соответствующего датчика очень высока, а общий выходной диапазон составляет около 100 мВ. Таким образом, нет особых требований к схеме интерфейса, и ее удобнее использовать.

3. Высокая точность. Поскольку распознавание, чувствительное преобразование и обнаружение датчика реализуются одним и тем же компонентом, промежуточное звено преобразования отсутствует, а ошибки повторяемости и гистерезиса невелики. Поскольку сам монокристаллический кремний обладает большой жесткостью и малой деформацией, хорошая линейность гарантирована.

4. Из-за низкой деформации рабочей единицы порядка микродеформации максимальное смещение эластичной стружки составляет порядка субмикрона, поэтому нет износа, усталости, старения и обслуживания. Срок службы составляет 1×103 цикла давления, стабильная производительность и высокая надежность.

5. Благодаря превосходным химическим антикоррозионным свойствам кремния даже неизолированные датчики давления из диффузного кремния обладают значительной способностью адаптироваться к различным средам.

6. Поскольку чип использует интегрированную технологию и не имеет передающих частей, он имеет небольшой размер и легкий вес.

Любой вопрос о нашемУПБ1силиконовый датчик давления, пожалуйста, свяжитесьСтелла Мэн.