Устройство и принцип работы диффузионного кремниевого преобразователя давления

Структурный состав преобразователя давления из диффузного кремния

Поскольку выход датчика давленияUPX19является нестандартным сигналом, в практических приложениях, чтобы сделать датчик универсальным и облегчить передачу и запись сигнала, датчик используется в сочетании со схемой ввода стандартного сигнала для вывода стандартного сигнала. Датчик, который выдает стандартный сигнал в это время, называется датчиком давления.UPB13.

Короче говоря, преобразователь постепенно развивается из сенсора. Изученный в этой статье датчик давления из диффузного кремния в основном состоит из датчика MEMS, измерительной капсулы, интерфейса и схемы обработки (интеллектуальной печатной платы).

Датчик давления и диодный датчик температуры упакованы в верхней части измерительной капсулы, а корпус капсулы зажат двумя уплотнительными фланцами, образуя измерительную часть преобразователя, которая отвечает за преобразование сигнала давления, измеряемого на рабочий участок в сигнал напряжения. Кроме того, электронная плата, заголовок жидкокристаллического дисплея и соединительный вывод составляют часть дисплея, которая отвечает за преобразование выходного сигнала напряжения датчика в 4-20 мА посредством усиления с последующим выводом стандартного токового сигнала.

Принцип работы диффузионного кремниевого датчика давления

На основе пьезорезистивного эффекта монокристаллического кремния эластичный компонент изготавливается в определенном направлении на кремниевой пластине с использованием передовой технологии микроэлектромеханической обработки, а четыре силочувствительных резистора с равным сопротивлением изготавливаются с помощью технологии интегральных схем в нужном месте, который соединяется с мостом Уитстона. К мосту подается постоянное напряжение (ток), и измеренное давление передается на силиконовый чип через силиконовое масло, запечатанное в измерительной капсуле без потерь, затем передатчик выдает сигнал напряжения, линейно пропорциональный измеряемому давлению. затем сигнал напряжения усиливается и преобразуется в двухпроводной стандартный сигнал через электронные схемы.

Подводить итоги:

Из принципа работы видно, что датчик давления является важной частью преобразователя давления.UPB1, а основным источником температурного дрейфа преобразователя является температурный дрейф кремниевого датчика давления. Текущие исследования компенсации температурного дрейфа кремниевых датчиков давления также в основном сосредоточены на части кремниевых датчиков давления.

За подробностями обращайтесьЦи Хуан